真空度：表示真空状态下的气体稀薄程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示，近年国际上取用帕（Pa）作为单位，之前常用托（Torr）为单位，其中1托＝133.322帕。抽气速率：单位m³/h或L/S，是指在一定的压强和温度下，单位时间内真空泵进气口处抽走的气体。其计算公式为：Sp＝Q/（P－P0），其中Q表示气体量，P表示当前压强，P0表示大气压强。抽气量：单位是m³/s或l/s，指泵入口的气体流量。极限真空：真空泵经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度为该泵的极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。何氏系数：真空泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泄流计算的理论抽速之比。流导：表示真空管道通过气体的能力，在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差，单位为L/s。标准大气压：是指在海平面高度上，气温为0°C时，大气压强约为101325帕斯卡（Pa），这个压强值被称为一个标准大气压。压力或压强：气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用Pa表示。前级压强：指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。最大工作压强：只对应最大抽气量的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵。前级泵：用于维持某一真空泵前级压强地域其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片泵或滑阀泵就是前级泵。粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效利用前级泵。为此配备一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。
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